МЭМС: конструкции, технологии, приложения
Анатолий Иванович Белоус, 2024
Цена от 2699 ₽ в 2 магазинах.
Цены в магазинах
| Магазин | Формат | Цена |
|---|---|---|
| Буквоед | Электронная | 2699 ₽ |
| Читай-город | Электронная | 2699 ₽ |
О книге
В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительного развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений – микроэлектромеханических систем (МЭМС). Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию – от студентов, аспирантов и преподавателей технических ВУЗов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров-разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров-технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники. В семнадцати тематических главах последовательно, на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС, начиная от анализа типовых конструкций классических датчиков и гироскопов, особенностей реализации этих конструкций в виде МЭМС-устройств, основных технологических процессов изготовления МЭМС, методов и технологий корпусирования МЭМС-устройств, инструментов моделирования и проектирования, и заканчивая стандартами, видами и методами испытаний МЭМС-устройств. Подробно, в объеме отдельных глав, рассмотрены особенности технологии и конструкции оптических МЭМС (ОМЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), а также основные сферы применения МЭМС – в автомобилестроении (противоугонные и навигационные системы, системы безопасности, датчики давления в шинах, датчики электронных систем управления двигателей, обеспечение курсовой устойчивости, управления тормозами и т.д.), биомедицинские приложения МЭМС (био-МЭМС, применения в хирургии, офтальмологии, имплантируемые датчики, для обработки внутрисердечных сигналов, для систем электроэнцефалограмм, в томографии, микрофлюидные кристаллы и др.), а также СВЧ-приложения. Завершает книгу глава, посвященная бесплатформенным инерциальным навигационным системам ориентации и навигации на основе МЭМС-датчиков (принципы построения, методы калибровки инерциальных чувствительных элементов, информационно-управляющие системы вращающихся по крену летательных аппаратов).
Жанры
Другие книги автора
- Основы схемотехники микроэлектронных устройств (МЭ) Белоус
- Космическая электроника. В 2 книгах (комплект из 2 книг)
- Кибербезопасность объектов топливно-энергетического комплекса. Концепции, методы и средства обеспечения
- Основы кибербезопасности. Cтандарты, концепции, методы и средства обеспечения
- Основы проектирования субмикронных микросхем
- Материалы и устройства наноэлектроники. Электроника после Мура
- Технологии, методы и инструменты войн XXI века
- Корпусирование микроэлектронных приборов. Технологии, конструкции, оборудование
- Защита от электромагнитных излучений: материалы, технологии, конструкции