Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие. 2-е издание
Цена от 860 ₽ в 3 магазинах.
Цены в магазинах
| Магазин | Формат | Цена |
|---|---|---|
| Литрес | Электронная | 860 ₽ |
| Буквоед | Электронная | 2699 ₽ |
| Читай-город | Электронная | 2699 ₽ |
О книге
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».