Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2
Юрий Борисович Цветков, 2019
Цена от 155 ₽ в 3 магазинах.
Цены в магазинах
| Магазин | Формат | Цена |
|---|---|---|
| Литрес | Электронная | 155 ₽ |
| Буквоед | Электронная | 1099 ₽ |
| Читай-город | Электронная | 1099 ₽ |
О книге
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. .Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».