Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Ю. А. Родионов, 2019
Цена от 1350 ₽ в 1 магазине.
Цены в магазинах
| Магазин | Формат | Цена |
|---|---|---|
| Литрес | Электронная | 1350 ₽ |
О книге
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.